通常使用的檢測器是一種電子倍增器，如下圖所示：

它的結構類似于光電倍增管，由很多串聯(lián)的電極板構成，這些電極稱為打拿極（dynode），每兩個打拿極都均勻分擔著外加的高壓。當離子入射到第一個打拿極時，和電極碰撞，離子消失，同時產生了自由電子，電子在電場作用下向下一級電極板移動，并打出更多的電子，如此形成了倍增效應。當一個離子入射時，將最終在輸出端形成一個脈沖信號。
    檢測器通過對一定時間內的脈沖信號的計數(shù)可以得到離子強度的相對值，檢測器工作在數(shù)字檢測方式。當離子強度較大時，達到產生的電子脈沖互相重疊時，脈沖數(shù)目便無法計算了，即達到了飽和，此時檢測器可以切換到模擬檢測方式（累計信號），如下圖所示。

ICP-MS電子倍增器，動態(tài)線性范圍≥10個數(shù)量級；能夠滿足從亞ppt級到百分級濃度的測定；對于Na標準溶液濃度0、5000ppm、10000ppm建立的標準曲線，線性優(yōu)于0.999，軟件截圖如下：